公司主营:半导体设备,离子源零部件,光学仪器设备。公司主要设计、开发、制造集成电路用(芯片)离子注入机离子源中的钨、钼材料系列零部件、半导体设备零部件、真空器件、焊接器件、光学光电工装冶具等精密零部件。
更新时间:2025-06-12 直链:www.raremat.com
Ai350HT型离子注入机采用成熟的光路单元技术。光路系统主要包括离子源、引出系统、质量分析器、磁透镜、加速管、静电扫描、平行透镜、靶室和片库等。配置高温加热靶台,金属Al离子源,全自动晶片传输系统。
更新时间:2025-06-10 直链:www.aiensemi.com